潔凈室的術(shù)語(yǔ)說(shuō)明詳細(xì)介紹

2015-02-04 16:21:59 admin

潔凈室的術(shù)語(yǔ)說(shuō)明詳細(xì)介紹

術(shù)語(yǔ)

2.0.1 潔凈室（區(qū)） clean room(zone)
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)和溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
2.0.2 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子。
1 粒徑miacropartical size
由給定的粒子尺寸測(cè)定儀回應(yīng)當(dāng)量于被測(cè)粒子等效的球體直徑。對(duì)離散粒子計(jì)數(shù)、光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑。
2 超微粒子 ultrafine particle
當(dāng)量直徑<0.1μm的粒子。
3 宏粒子 micro particle
當(dāng)量直徑>0.5μm的粒子。
4 粒徑分布 particle size distribution
粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。
5 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
2.0.3 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣中某粒子的數(shù)量來(lái)區(qū)分的潔凈程度。
2.0.4 占用狀態(tài) occupancy states
1 空態(tài) as-built
設(shè)施已經(jīng)建成，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。
2 靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，按業(yè)主及供應(yīng)商商定的狀態(tài)運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)人員。
3 動(dòng)態(tài) operational
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀態(tài)下進(jìn)行工作。
2.0.5 氣流流型 air pattern
室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布。
2.0.6 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。
2.0.7 非單向流 non-unidirectional airflow
不符合單向流定義的氣流。
2.0.8 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.9 潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8-1.5m（除工藝特殊要求外）的區(qū)域。
2.0.10 空氣吹淋室 airshower
      利用潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。
2.0.11 氣閘室 airlock
設(shè)置在潔凈室出入口，為阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。
2.0.12 傳遞窗    passbox
      在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側(cè)窗扇的開啟應(yīng)進(jìn)行聯(lián)鎖控制。
2.0.14 高效空氣過(guò)濾器 HEPA（high efficiency particulate air filter）
      在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過(guò)濾器。
2.0.15 風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組（FFU） Fan Filter Unit
      由高效空氣過(guò)濾器（HEPA）或超高效空氣過(guò)濾器（ULPA）與風(fēng)機(jī)組合在一起，構(gòu)成自身可提供動(dòng)力的末端空氣凈化裝置。
2.0.16 過(guò)濾器安裝后檢漏 installed filter leakage test
檢查空氣過(guò)濾器及其與安裝框架連接部位等沒(méi)有缺陷和泄漏。
2.0.17 漏風(fēng)量 air system leakage ratio
      風(fēng)管系統(tǒng)中，在某一靜壓下通過(guò)風(fēng)管，附件及其接口，單位時(shí)間內(nèi)泄漏或滲入的空氣體積量。
2.0.18 漏光檢測(cè) air leak cheek with lighting
采用強(qiáng)光源對(duì)風(fēng)管的咬口、接縫、法蘭及其連接處進(jìn)行透光檢查，確定孔洞、縫隙等滲漏部位及數(shù)量的方法。
2.0.19 自凈時(shí)間 cleanliness recovery characteristic
      潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間。
2.0.20 純水 purify water
雜質(zhì)含量很少的水，其電解質(zhì)雜質(zhì)含量（常以電阻率表征）和非電解質(zhì)雜質(zhì)（如微粒、有機(jī)物、細(xì)菌和溶解氣體等）含量均要求很少的水。
2.0.21 常用氣體 Bulk gas
指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中廣泛使用的氫氣、氧氣、氮?dú)?、氬氣、氦氣等氣體。
2.0.22 特種氣體 special gas
指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。
2.0.23 化學(xué)品 chemical
      指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用的酸、堿、有機(jī)溶劑、有機(jī)物質(zhì)和氧化物等。
2.0.24 配管 piping
潔凈廠房中，用以輸送、分配工藝用水、純水、各類氣體、化學(xué)品等的管路系統(tǒng)的管子、附件、管件、法蘭、螺栓連接件、墊片、閥門和其他組成件的組裝總成。
2.0.25 熱彎 hot bending
溫度高于金屬臨界點(diǎn)AC1時(shí)的彎管作業(yè)。