潔凈室無塵室空氣潔凈度等級測試

2015-01-20 10:07:11 admin

空氣潔凈度等級測試
C.1.1 空氣潔凈度等級的測試一般采用粒子計數(shù)器，采樣量應(yīng)大于1L/ min。測試粒徑大于等于0.5μm粒子時，宜采用光散射粒子計數(shù)器；測試粒徑大于等于0.1的粒子時，宜采用大流量激光粒子計數(shù)器（采樣量每分鐘28.3L）；測試粒徑小于0.1μm的超微粒子時，宜采用凝聚核激光粒子計數(shù)器。
C.1.2 潔凈度等級測試前，應(yīng)先進行風速，風量、靜壓差、過濾器檢漏和圍護結(jié)構(gòu)密閉性檢測。
C.1.3 采樣點確定
C.1.3.1 應(yīng)下式計算最少采樣點

（C.1.3）
式中

——最少采樣點，四舍五入取整數(shù)；

——潔凈室（區(qū)）的面積。在水平單向流時，指與氣流方向垂直的流動空氣的截面積。以㎡計。
C.1.3.2 采樣點應(yīng)均勻分布于潔凈室（區(qū)）的面積內(nèi)，并位于工作區(qū)高度。
C.1.4 每次采樣的最少采樣量
C.1.4.1 每個采樣點的每次采樣量（V_S）應(yīng)按下式計算：

（C.1.4）
式中：

——被測潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度等級被測粒徑的允許限值（個/m³）；
          20——在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度限值時，可檢測到的粒子數(shù)。
C.1.4.2 每個采樣點的采樣量至少為2L，采樣時間最少為1min，當潔凈室（區(qū)）僅有1個采樣點時，則在該點至少采樣3次。
    當Vs很大時，采樣時間會很長，可參照采用ISO14644-1附錄F中規(guī)定的順序采樣法。
C.1.5 對于單向流潔凈室，采樣口應(yīng)對著氣流方向，對于非單向流潔凈室，采樣口宜向上。采樣速度宜接近室內(nèi)氣流速度。
C.1.6 室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服，不得超過3人，應(yīng)位于測試點下風側(cè)并遠離測試點，并應(yīng)保持靜止。進行換點操作時動作要輕，應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。
C.1.7 每個采樣次數(shù)為2次或2次以上的采樣點，應(yīng)按式C.1.7計算平均粒子濃度。

（C.1.7）
式中：

——采樣點i的平均粒子濃度，i可代表任何位置；

——每次采樣的粒子濃度；
N——在采樣點i的采樣次數(shù)。
C.1.8 采樣點為1個時，應(yīng)按式C.1.7計算該點平均粒子濃度。采樣點為10個或10個以上時，按式C.1.7計算各點的平均濃度后，再按式C.1.8計算潔凈室（區(qū)）總平均值。

（C.1.8）
式中：

——各采樣點平均值的總平均值；

——按式C.1.7計算的各個采樣點的平均值，既潔凈室（區(qū)）總平均值；
m——采樣點的總數(shù)。
C.1.9 置信上限（UCL）的計算
C.1.9.1 當采樣點只有1個或多于9個時，不計算95%置信上限。
C.1.9.2 采樣點為1個以上10個以下時，根據(jù)式C.1.8計算出各采樣點平均值和總平均值后，還應(yīng)按式C.1.9.1計算出總平均值的標準偏差（S）。

（C.1.9-1）
C.1.9.3 最后按式B.1.9-2計算出總平均值的95%置信上限（UCL）。

（C.1.9-2）
式中t——分布系數(shù)，見表B.1.9。
表C.1.9 95%置信上限（UCL）的t分布系數(shù)

采樣點數(shù)（m）	2	3	4	5	6	7～9
t	6.3	2.9	2.4	2.1	2.0	1.9

C.1.9.4 如果每個采樣點測得粒子濃度的平均值

以及潔凈室總平均值95%置信上限均未超過空氣潔凈度等級的濃度限值，則認為該潔凈室（區(qū)）已達到規(guī)定的空氣潔凈度等級。
如果測試結(jié)果未能滿足規(guī)定的空氣潔凈度等級，可增加均勻分布的新采樣點進行測試，對包括新增采樣點數(shù)據(jù)在內(nèi)的所有數(shù)據(jù)重新計算的結(jié)果，作為最終檢驗結(jié)果。
C.1.10 空氣潔凈度等級計算例
C.1.10.1 被測潔凈室面積（區(qū)）為1000m²，空氣潔凈度等級為ISO5級，規(guī)定受控粒子粒徑為0.3μm（D₁）、0.5μm（D₂）。根據(jù)測試結(jié)果確定在動態(tài)下是否符合規(guī)定的懸浮粒子允許濃度限值。
⑴ 規(guī)定的粒徑均在現(xiàn)行標準ISO5級粒徑范圍，并符合D₂≥1.5D₁的要求。
⑵ 計算最大允許懸浮粒子濃度
對≥0.3μm的粒子：

，取10200個/m³。
對≥0.5μm的粒子：

，取3520個/m³。
⑶ 按式（C.1.3）計算采樣點數(shù)量：

，取32
由于采樣點數(shù)大于10，不計算95%置信上限。
⑷ 采樣點每次采樣量（Vs），按式(B.1.4)計算

選用采樣量為28L/min的粒子計數(shù)器。這一選擇滿足：V_S>2L、C_n.m>20個/m³的要求，其采樣時間≥1min。
⑸ 在每個采樣點僅作一次采樣（28L/min），測試得到的計數(shù)記錄如下：

采樣點	粒子數(shù)(≥0.3μm)	粒子數(shù)(≥0.5μm）	采樣點	粒子數(shù)（≥0.3μm）	粒子數(shù)（≥0.5μm）
1	265	58	17	68	25
2	66	48	18	58	35
3	195	18	19	202	15
4	125	28	20	222	0
5	134	18	21	212	8
6	165	16	22	178	9
7	172	8	23	158	10
8	74	9	24	142	12
9	105	7	25	118	13
10	115	38	26	116	0
11	135	17	27	128	2
12	168	16	28	108	3
13	85	15	29	98	4
14	95	12	30	138	6
15	188	11	31	148	8
16	162	0	32	118	9

⑹ 以測試數(shù)據(jù),折算為每立方米的粒子數(shù)(X_i):

采樣點	X_i(≥0.3μm)	Xi(≥0.5μm）	采樣點	X_i(≥0.3μm)	X_i(≥0.5μm）
1	9464	2071	17	2428	893
2	2357	1714	18	2071	1250
3	6963	643	19	7213	536
4	4464	1000	20	7928	0
5	4785	643	21	7571	286
6	5892	571	22	6358	321
7	6142	286	23	5642	357
8	2643	321	24	5071	429
9	3750	250	25	4213	464
10	4107	1357	26	4142	0
11	4821	607	27	4571	71
12	5999	571	28	3857	107
13	3035	536	29	3500	143
14	3392	429	30	4928	214
15	6714	393	31	5285	286
16	5785	0	32	4214	321